簡易檢索 / 檢索結果

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    化學機械研磨終點檢測之專利創研機制之研究
    • 自動化及控制研究所 /95/ 碩士
    • 研究生: 許世民 指導教授: 蔡明忠
    • 本論文主要在研究一個以化學機械研磨終點檢測之專利創研機制,以輔助使用者在終點檢測達到專利新構想產生為目的。本研究分析110篇終點檢測專利,利用本體論概念建立化學機械研磨終點檢測之本體知識,再建立終點…
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